Stoichiometrische defecten worden ook wel intrinsieke defecten genoemd omdat ze ontstaan ​​als gevolg van de inherente aard van het kristalrooster en niet gepaard gaan met de toevoeging of verwijdering van vreemde atomen. Deze defecten treden op als gevolg van de onregelmatigheden in de rangschikking van atomen of ionen in de kristalstructuur.

In het geval van Frenkel-defecten verlaten sommige ionen bijvoorbeeld hun normale roosterplaatsen en bezetten interstitiële posities, waardoor zowel vacatures als interstitials ontstaan. Deze defecten zijn inherent aan het materiaal zelf en vereisen niet de aanwezigheid van onzuiverheden of externe factoren.

Op dezelfde manier omvatten Schottky-defecten de afwezigheid van een paar ionen op hun reguliere roosterplaatsen, waardoor de algehele stoichiometrie van de verbinding behouden blijft. Deze vacatures kunnen op natuurlijke wijze ontstaan ​​tijdens de vorming van het kristalrooster en vereisen geen introductie van vreemde soorten.

Daarom worden stoichiometrische defecten, zoals Frenkel- en Schottky-defecten, intrinsieke defecten genoemd, omdat ze voortkomen uit de intrinsieke eigenschappen van de kristalstructuur van het materiaal en geen externe onzuiverheden met zich meebrengen.